什么是硅烷氣體：

硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氫化合物。目前應(yīng)用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。

半導(dǎo)體廠房硅烷氣體泄漏檢測主要特點：

★速核系統(tǒng)：采用高精度32位高速微處理器，Epsion數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，速測危害氣體，高效預(yù)警毒氣泄漏；

★多級標定：業(yè)內(nèi)智能化多級校準技術(shù)，多重濾波技術(shù)，更精準更快速地反饋現(xiàn)場濃度值；

★自動標定：通入實際標氣，無需標定員操作，智能識別標定；

★穩(wěn)定性：經(jīng)過嚴格的進料篩選工序，及行業(yè)經(jīng)驗十幾年的研發(fā)人員匠心打造，抗EMC、EMI干擾，大幅度提高的可靠性；

★多結(jié)構(gòu)的通訊方式：支持4-20mA與RS485單路或多路同時通訊，有線與內(nèi)置無線433M/GPRS等無線多路通訊（選配）；

★規(guī)范標準：JJF 1363-2012，JJF 1368-2012，JJF 1421-2013，JJF 1364-2012；GB3836-2010，GB 12476.5-2013。